电子束物理气象沉积
高端电子束物理气象沉积设备，用于精密薄膜涂层和表面处理
高端电子束物理气象沉积设备，采用电子束蒸发源技术，实现高纯度薄膜沉积。适用于光学镜片、半导体器件、刀具涂层等领域的精密表面处理。
获取技术方案核心技术参数
| 蒸发枪数量 | 4-8 个 |
| 蒸发枪电压 | 35-45kV |
| 蒸发枪功率 | 40-250kW |
| 靶材材质 | 高温合金、陶瓷氧化物等 |
| 靶材坩埚数量 | 4-6 个 |
| 工件运动方式 | 旋转/转角/平移 |
| 极限真空度 | ≤10^-4 Pa |
| 基片温度 | 室温 -600°C |
| 有效工作区 | φ600×800mm |
| 控制方式 | PLC+ 触摸屏 |
应用场景
- 光学镜片增透膜
- 半导体器件金属化
- 刀具硬质涂层
- 装饰镀膜
- 功能薄膜制备